技術(shù)文章
中心-外圍邊緣的檢測場景
檢測半導(dǎo)體芯片(晶片)封裝工藝時,可能既需要對位于中心的芯片線路進行檢測,同時也需要對芯片外圍的引線進行檢測;
在精密定位/對位(alignment)時,視野太小,不好找準(zhǔn)位置,這時如果光學(xué)系統(tǒng)能同時用小倍數(shù)觀察大視野,快速找到位置點,同時又能用高倍數(shù)對定位標(biāo)記(alignment mark) 觀察小視野,就能提高定位精度。
在生物成像的某些應(yīng)用中,可能需要用大視野針對某個區(qū)域進行成像,同時需要利用大倍數(shù)對某個小區(qū)域內(nèi)的細(xì)節(jié)進行分析。
有沒有能同時獲得大小兩個視野,兩種放大倍數(shù),而且無需再次聚焦的鏡頭?
模塊式 雙視顯微鏡頭
我們?yōu)樯鲜鰬?yīng)用設(shè)計和制造了多種形態(tài)的分光裝置,將其集成到模塊式顯微成像光路中的不同位置,即可組成多種結(jié)構(gòu)的雙光路,雙視野的成像系統(tǒng):
雙視系統(tǒng)可以兩個光路都是同樣的倍數(shù),不同波段;也可以兩個光路是不同倍數(shù),不同視野;或者兩個光路在變倍/定倍、手動/電動之間任意選擇。如果需要,也可搭建成多光路,多視野的成像系統(tǒng)。
該系統(tǒng)最重要的一個特點就是無需多次聚焦即可對某個區(qū)域?qū)崿F(xiàn)不同倍數(shù)或者不同波段的成像。
復(fù)消色差,消像差,無限校正光路設(shè)計,0.55x, 0.8x, 1x, 1.1x, 1.6x, 2x 定倍鏡筒;
或0.64x~ 4.5x、0.58x~7x 、0.7x~4.5x連續(xù)變倍鏡筒,手動和自動變倍可選;
可根據(jù)應(yīng)用需要,搭配不同品牌、不同倍數(shù)的物鏡(2x、4x、 5x、 6x、 10x、 20x、 50x);
可選1/2” 到32mm或以上尺寸相機傳感器
只需要一次聚焦,即可獲得同一中心區(qū)域的雙波段/雙視野的兩個圖像,大視野針對全局成像,小視野表征關(guān)鍵細(xì)節(jié):
除以上正置、平行、轉(zhuǎn)角雙視模塊外,還可以根據(jù)現(xiàn)場的安裝和應(yīng)用環(huán)境對鏡頭結(jié)構(gòu)進行調(diào)整,比如:采取倒置,或其他安裝形態(tài),或在光路中加入偏光、濾片轉(zhuǎn)輪、自動聚焦機構(gòu)等功能模塊等等。
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